在芯片、顯示屏等精密電子制造領(lǐng)域,微米級的塵埃即可導(dǎo)致產(chǎn)品良率大幅下降。沈陽尚仁凈化科技有限公司以定制化凈化車間解決方案,助力企業(yè)突破生產(chǎn)環(huán)境瓶頸,實現(xiàn)技術(shù)升級。
?電子凈化車間的核心挑戰(zhàn)?
電子類凈化車間需控制0.1μm以上顆粒物,潔凈度通常要求ISO 3-5級(千級至百級)。此外,靜電防護、溫濕度穩(wěn)定性(如±1℃精度)同樣關(guān)鍵。沈陽尚仁通過“三級過濾+FFU風(fēng)機群控”技術(shù),結(jié)合濕度補償系統(tǒng),將車間環(huán)境波動控制在1%以內(nèi),滿足半導(dǎo)體光刻工藝的嚴(yán)苛需求。
?定制化設(shè)計:從防震到節(jié)能的全面優(yōu)化?
針對電子行業(yè)特性,沈陽尚仁在車間設(shè)計中融入多重創(chuàng)新:
?防微震地面?:采用高分子阻尼材料,減少設(shè)備振動對精密儀器的影響;
?節(jié)能回風(fēng)系統(tǒng)?:通過熱交換裝置回收排風(fēng)能量,降低30%空調(diào)能耗;
?智能化監(jiān)控?:安裝塵埃粒子計數(shù)器與靜電報警裝置,實時推送預(yù)警信息。
?案例成果:助力國產(chǎn)芯片突圍?
2022年,沈陽尚仁為某半導(dǎo)體企業(yè)打造的萬級凈化車間,通過“單向流層送風(fēng)”布局,使晶圓加工區(qū)的塵埃濃度下降至5顆粒/立方米,良品率提升至99.2%,助力企業(yè)打破國外技術(shù)封鎖。
沈陽尚仁將持續(xù)深耕電子凈化領(lǐng)域,以技術(shù)創(chuàng)新推動“中國智造”高質(zhì)量發(fā)展。
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